Coating液自动补液系统

coating_rehydrate_sys

此系统用于DISCO设备Coating液自动补充。

效益

主要监控Disco设备Coating液存量,增加产品制程良率,减少Coating液浪费及人力耗损。

规格及特色

  • 漏夜检知功能模块
  • 气泡检知功能模块
  • Coating液过滤模块
  • Buffer Tank溢位检知模块
  • 原料桶换检知模块