Wafer磨边设备

WEM-1000
Wafer磨边设备

此设备主要功能为移除Wafer边缘之毛边。

效益

自动化Wafer磨边及毛边检查以减少人力需求

规格及特色

  • 适用产品：8”& 12”圆边Silicon Wafer及 8”平边Silicon Wafer
  • 透過L/P治具更换使 8”Cassette & 12”FOUP共享
  • 可依Recipe设定研磨机构参数
  • 磨边后边缘之毛边>100um检出
  • 具Mapping Slot及斜插、迭片检知功能

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