Coating液自動補液系統

coating_rehydrate_sys

此系統用於DISCO設備Coating液自動補充。

效益

主要監控Disco設備Coating液存量,增加產品製程良率,減少Coating液浪費及人力耗損。

規格及特色

  • 漏夜檢知功能模組
  • 氣泡檢知功能模組
  • Coating液過濾模組
  • Buffer Tank溢位檢知模組
  • 原料桶換檢知模組