Wafer磨邊設備

WEM-1000
Wafer磨邊設備
此設備主要功能為移除Wafer邊緣之毛邊。

效益

自動化Wafer磨邊及毛邊檢查以減少人力需求

規格及特色

  • 適用產品：8”& 12”圓邊Silicon Wafer及 8”平邊Silicon Wafer
  • 透過L/P治具更換使 8”Cassette & 12”FOUP共用
  • 可依Recipe設定研磨機構參數
  • 磨邊後邊緣之毛邊>100um檢出
  • 具Mapping Slot及斜插、疊片檢知功能
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