ウェハーフレーム下ろし洗浄装置

利点

ブルーテープからフレームを自動的に下ろし、廃ダイの写真を撮って保存することができます。フレームの裏表はがし洗浄、糊残り検査、平坦度検査機能があります。また、OPの作業工数を効率的に削減し、フレームの清潔度と反りを管理することができます。廃棄されたテープには自動的にラベルが貼られ、次の問い合わせに対応します。

仕様と特徴

• 8インチ/12インチウェハー対応。

• 作業サイズ自動切替可能 。

• OCR ReaderでWaferを識別。

• NG DIEの写真撮りと保存。

• ウェハー下ろし、フレーム湿式洗浄、パッケージ、ラベル貼り機能対応。

• 平坦度/糊残り検知機能。

• 裏/表面洗浄機能対応。

• 洗浄のサイクル数/薬液量/速度はパラメータで制御可能。

• E84通信仕様対応。

• SECS/GEM通信仕様対応。