ウェハーフレーム洗浄装置

応用プロセス

本装置は、フレーム下ろした後に、フレーム上の糊残りを洗浄し、検査する装置です。

利点

フレームの糊残りを自動化で裏と表洗浄する機能や、糊残りと平坦度検査機能により、工数を減らし、フレームの清潔度と反りを効果的に管理することができます。

仕様と特徴

• 8インチと12インチウェハーフレーム共用

• 作業サイズ自動切替

• 8インチと12インチフレーム専用運搬台車

• フレーム自動分離機構

• 洗浄サイクル数/液量/速度のパラメータ制御可能

• 裏と表洗浄機能あり

• 平坦度と糊残り検査機能あり

• E84とSECS/GEM通信仕様対応