ウェハーフレーム下ろし洗浄装置
ブルーテープからフレームを自動的に下ろし、廃ダイの写真を撮って保存することができます。フレームの裏表はがし洗浄、糊残り検査、平坦度検査機能があります。また、OPの作業工数を効率的に削減し、フレームの清潔度と反りを管理することができます。廃棄されたテープには自動的にラベルが貼られ、次の問い合わせに対応します。
ブルーテープからフレームを自動的に下ろし、廃ダイの写真を撮って保存することができます。フレームの裏表はがし洗浄、糊残り検査、平坦度検査機能があります。また、OPの作業工数を効率的に削減し、フレームの清潔度と反りを管理することができます。廃棄されたテープには自動的にラベルが貼られ、次の問い合わせに対応します。